项目名称:芯片自动表面缺陷检测设备
项目编号:TC250J064
变更内容:
(1)本项目质保期要求为:自验收合格之日起 2 年。
(2)第五章 供货要求 技术部分的“2.1.1硬件结构:1)光学成像系统”要求为:
1)光学成像系统:光学镜头、高精度的传感器。
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